Các SEZ hiện đại xuất hiện từ cuối những năm 1950 tại các nước công nghiệp. Đầu tiên là ở sân bay Shannon ở Clare, Ireland.[5] Từ những năm 1970 trở đi, các khu vực cung cấp sản xuất thâm dụng lao động đã được thành lập, bắt đầu từ châu Mỹ Latinh và Đông Á. Lần đầu tiên ở Trung Quốc sau khi Trung Quốc khai trương năm 1979 bởi Đặng Tiểu Bình là Đặc khu kinh tế Thâm Quyến nhằm khuyến khích đầu tư nước ngoài và đồng thời đẩy mạnh công nghiệp hóa trong khu vực này. Những khu vực này thu hút đầu tư từ các tập đoàn đa quốc gia.[1]

Một xu hướng gần đây đã được các nước châu Phi thiết lập SEZ hợp tác với Trung Quốc.[2]